Shenyang Starlight Advanced Ceramics erzielt Durchbruch bei der Herstellung von Halbleiter-Quarzbooten

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., ein führender Hersteller von Siliziumkarbidprodukten mit über 30 Jahren Branchenerfahrung, hat erfolgreich eine Hochleistungs-Quarzbootserie für die Halbleiterwaferverarbeitung entwickelt und ausgeliefert. Dieser Meilenstein unterstreicht die Fähigkeit des Unternehmens, die hohen Anforderungen der modernen Halbleiterfertigung zu erfüllen.

Innovation in der Quarzboot-Technologie

Nach Jahren intensiver Forschung und Entwicklung sowie Tests hat Shenyang Starlight seine Quarzboot-Serie perfektioniert, die speziell für die Wafer-Wärmebehandlung in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Zu den wichtigsten Merkmalen gehören:

Siliziumkarbidmaterial mit ultrahoher Reinheit, das eine minimale Verunreinigung während Hochtemperaturprozessen gewährleistet.

Außergewöhnliche thermische Stabilität, hält schnellen Temperaturzyklen bis zu 1.200 °C stand.

Präzisionsgefertigte strukturelle Integrität, die eine Verformung oder Beschädigung des Wafers während der Verarbeitung verhindert.

Diese Siliziumkarbid-Quarzschiffchen sind für Wafer-Glüh-, Diffusions- und Oxidationsprozesse von entscheidender Bedeutung, bei denen Materialreinheit und thermische Leistung von größter Bedeutung sind.

Erfüllung der Anforderungen der Halbleiterindustrie

Halbleiterhersteller benötigen konsistente, kontaminationsfreie Handhabungslösungen für empfindliche Siliziumwafer. Die Siliziumkarbid-Quarzschiffchen von Shenyang Starlight erfüllen diese Anforderungen durch:

• Überlegene chemische Beständigkeit gegenüber korrosiven Gasen, die bei der Abscheidung und beim Ätzen verwendet werden.

• Optimiertes Design für gleichmäßige Wärmeverteilung und reduzierte Waferbelastung.

• Lange Lebensdauer, wodurch die Gesamtbetriebskosten für Halbleiterfabriken sinken.

„Unsere Siliziumkarbid-Quarzschiffchen-Serie ist das Ergebnis jahrelanger Verfeinerung der Materialwissenschaften“, sagte ein Unternehmenssprecher. „Wir haben hochreines Quarz und Siliziumkarbid mit Präzisionsfertigung kombiniert, um ein Produkt zu liefern, das den hohen Standards der Halbleiterproduktion entspricht.“

F&E und Qualitätssicherung

Der Erfolg von Shenyang Starlight beruht auf:

Engagiertes F&E-Team, das mit führenden akademischen Einrichtungen zusammenarbeitet.

Erweiterte Testprotokolle, einschließlich Temperaturschockbeständigkeit und Partikelemissionsanalyse.

ISO 9001-zertifizierte Produktion, die Chargenkonsistenz gewährleistet.

Die Quarzschiffchen des Unternehmens wurden in Zusammenarbeit mit Herstellern von Halbleiterausrüstungen umfangreichen Qualifikationstests unterzogen, die die Zuverlässigkeit der Siliziumkarbidprodukte in realen Anwendungen bestätigen.

Anwendungen in der Waferherstellung

Die Quarzboot-Serie wird jetzt übernommen für:

• Front-End-Waferverarbeitung (z. B. Oxidation, Dotierung).

• Back-End-Annealing für fortschrittliche Verpackungen.

• Herstellung von Photovoltaikzellen, bei der Hochtemperaturstabilität entscheidend ist.

Zukünftige Entwicklungen

Aufbauend auf diesem Erfolg erweitert Shenyang Starlight sein Portfolio an Halbleiterkeramiken mit laufenden Projekten in:

• Mit Siliziumkarbid beschichtete Quarzkomponenten für verbesserte Haltbarkeit.

• Maßgeschneiderte Bootdesigns für Wafergrößen der nächsten Generation.

• Materialien mit geringer Partikelemission für die Kompatibilität mit der EUV-Lithografie.

Engagement für Halbleiter-Exzellenz

"Die Halbleiterfertigung entwickelt sich rasant und wir sind bestrebt, hochmoderne Keramiklösungen bereitzustellen, die den Erfolg unserer Kunden ermöglichen,", fügte der Sprecher hinzu.