Shenyang Starlight Advanced Ceramics erreicht Meilenstein in der Halbleiterfertigung mit Präzisions-Linerrohren mit 451 mm Außendurchmesser für die 12-Zoll-Wafer-Verarbeitung

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., ein Pionier in der Siliziumkarbid-Herstellung mit über 30 Jahren Erfahrung, hat kürzlich einen bedeutenden Durchbruch erzielt: Die erfolgreiche Lieferung spezieller Liner-Rohre mit einem Außendurchmesser von 451 mm für die Herstellung von 12-Zoll-Halbleiterwafern unterstreicht die führende Rolle des Unternehmens bei der Weiterentwicklung kritischer Keramikkomponenten für die globale Halbleiterindustrie. Die neu entwickelten Liner-Rohre, die speziell für Hochtemperatur-Waferverarbeitungsanwendungen konzipiert sind, verfügen über einen optimierten Flanschaußendurchmesser von 451 mm und erfüllen die strengen Anforderungen moderner Halbleiterfertigungsanlagen. Durch die Verwendung von ultrahochreinem Siliziumkarbid (≥99,999 %) mit außergewöhnlicher thermischer Stabilität (Betriebsbereich: Raumtemperatur bis 1.450 °C)Linerrohre Die Komponenten gewährleisten eine minimale Wärmeausdehnung (Koeffizient von 4,0 × 10⁻⁶/K) und eine hervorragende Beständigkeit gegen korrosive Prozessgase. Dies ermöglicht eine gleichbleibende Leistung bei Oxidations-, Diffusions- und CVD-Prozessen (Chemical Vapor Deposition). Die Präzisionskonstruktion der Linerrohre garantiert Maßtoleranzen von ±0,05 mm und eine Oberflächenrauheit von unter Ra 0,1 μm. Dies ist entscheidend für die Wahrung der Waferintegrität und die Reduzierung des Partikelkontaminationsrisikos in Reinraumumgebungen.

Der LinerrohreDer Entwicklungsprozess umfasste 18 Monate intensiver Forschungs- und Entwicklungsarbeit mit führenden Halbleiterherstellern. Dabei wurde eine fortschrittliche Finite-Elemente-Analyse (FEA) eingesetzt, um die Gasströmungsdynamik und die thermische Gleichmäßigkeit über den 300 mm Innendurchmesser zu optimieren. Über 500 Temperaturwechseltests bestätigten dieLinerrohre' Haltbarkeit bei schnellen Temperaturschwankungen, während proprietäre Sintertechniken gewährleistetenLinerrohre strukturelle Integrität bei extremen Temperaturen. Die Produktion erfolgt in Reinräumen der ISO-Klasse 5, wobei jede Einheit einer umfassenden LinerrohreQualitätsprüfungen, darunter Helium-Lecktests, Restgasanalysen (RGA) und messtechnische Validierung mit Laserscannern und Koordinatenmessgeräten (KMGs). Frühanwender in der Produktion fortschrittlicher Logik- und Speicherchips berichten von einer 35-prozentigen Reduzierung der Ofenausfallzeiten und einer 20-prozentigen Verbesserung der Waferausbeute im Vergleich zu herkömmlichen Quarzlinern. Dies ist auf die inhärente chemische Inertheit des Materials und den geringeren Wartungsaufwand zurückzuführen.

Das LinerrohreDie Innovation trägt der steigenden Nachfrage der Halbleiterindustrie nach größeren Wafergrößen und höherer Prozesskonsistenz Rechnung, insbesondere angesichts der Umstellung der Hersteller auf Sub-5-nm-Knoten. Das Design mit 451 mm Außendurchmesser ermöglicht die nahtlose Integration in Vertikalöfen der nächsten Generation, während der extrem niedrige Metallverunreinigungsgrad des Materials (<0,1 ppb) eine Dotierstoffkontamination in sensiblen Prozessen verhindert. Über aktuelle Anwendungen hinaus entwickelt Shenyang Starlight aktiv intelligenteLinerrohrePrototypen mit eingebetteten Sensoren zur Echtzeit-Temperaturüberwachung und adaptiven Wärmemanagementsystemen, die mit Fertigungsökosystemen der Industrie 4.0 kompatibel sind.

Mit einer 30-jährigen Tradition und über 2.000 erfolgreichen Kundenpartnerschaften treibt Shenyang Starlight weiterhin Innovationen im Bereich Hochleistungskeramik voran und kombiniert exzellente Materialwissenschaften mit Präzisionstechnik, um die komplexesten Herausforderungen der Halbleiterindustrie zu lösen.