Shenyang Starlight Advanced Ceramics liefert erfolgreich 8-Zoll-Dreisäulenboote aus Siliziumkarbid für die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd., ein führender Hersteller von Siliziumkarbidprodukten mit über 30 Jahren Branchenerfahrung, hat vor Kurzem einen bedeutenden Meilenstein erreicht, indem es spezielle 8-Zoll-Dreipfostenschiffchen aus Siliziumkarbid für Wärmebehandlungsanwendungen bei Halbleiterwafern erfolgreich entwickelt und geliefert hat.

Durchbruch in der Waferverarbeitungstechnologie

Der neu entwickelte 8-ZollSiliziumkarbidDreipfostenboote stellen einen bedeutenden Fortschritt in der Waferhandhabungstechnologie dar und wurden speziell für folgende Zwecke entwickelt:

• Hochtemperaturverarbeitung von 200-mm-Halbleiterwafern

• Gleichmäßige Wärmeverteilung während kritischer Fertigungsschritte

• Reduziertes Kontaminationsrisiko in Reinraumumgebungen

Technische Überlegenheit

Diese präzisionsgefertigten Boote verfügen über:

• Ultrahohe ReinheitSiliziumkarbidMaterial (99,99 % Reinheit)

• Optimiertes Drei-Pfosten-Design für minimalen Waferkontakt

• Außergewöhnliche Temperaturwechselbeständigkeit (hält schnellen Temperaturänderungen bis zu 1.400 °C stand)

• Überlegene chemische Inertheit gegenüber korrosiven Prozessgasen

Erfüllung der Branchenanforderungen

"Unser 8-ZollSiliziumkarbid„Dreipfosten-Boote decken den wachsenden Bedarf der Halbleiterindustrie an zuverlässigen, leistungsstarken Waferträgern ab“, sagte Dr. Li, Chief Technology Officer. „Sie bieten gegenüber herkömmlichen Quarzträgern erhebliche Vorteile, darunter eine längere Lebensdauer und eine bessere thermische Stabilität.“

Rigoroser Entwicklungsprozess

Die Produktentwicklung umfasste:

• 18 Monate intensive Forschung und Entwicklung

• Zusammenarbeit mit führenden Halbleiterherstellern

• Über 200 Thermozyklustests

• Strenge Maßnahmen zur Kontrolle der Partikelkontamination

Qualitätssicherung

Jede Einheit durchläuft:

• Überprüfung der Maßgenauigkeit (±0,02 mm Toleranz)

• Prüfung der Oberflächenrauheit (Ra < 0,2 μm)

• Umfassende Sichtprüfung

• Endreinigung und Verpackung im Reinraum Klasse 100

Anwendungen

Die Boote werden derzeit für folgende Zwecke eingesetzt:

• Diffusionsprozesse

• Glühbehandlungen

• Oxidationsprozesse

• CVD-Anwendungen

Zukünftige Entwicklungen

Aufbauend auf diesem Erfolg entwickelt Shenyang Starlight nun:

• 12-Zoll-Version für Wafergrößen der nächsten Generation

• Kundenspezifische Designs für spezifische Prozessanforderungen

• Fortschrittliche Beschichtungen für spezielle Anwendungen

Unternehmensverpflichtung

„Als Unternehmen mit drei Jahrzehnten Erfahrung im Bereich Keramik bleiben wir der Aufgabe verpflichtet, die Grenzen der Halbleitermaterialtechnologie zu erweitern“, fügte Dr. Li hinzu. „Diese Produkteinführung zeigt unsere Fähigkeit, Lösungen zu entwickeln, die den anspruchsvollsten Anforderungen der Branche gerecht werden.“