Einführung in reaktionsgebundene Siliziumkarbid-Waferboote:

In den letzten Jahren haben sich die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie rasant entwickelt, die Größe der Industrie hat rapide zugenommen, die Fertigungsanlagen haben sich immer präziser und komplexer entwickelt und die technischen Anforderungen und Lokalisierungsanforderungen für Schlüsselkomponenten hochpräziser Keramik sind gestiegen. Dies ist eine neue Entwicklungschance und ein Wendepunkt für Unternehmen, die Siliziumkarbid herstellen.

Siliziumkarbid-Waferboote haben sich als hervorragende Lösung für Hochtemperatur-Industrieprozesse erwiesen, insbesondere in der Halbleiterherstellung, Metallurgie und beim Sintern moderner Keramik. Diese Komponenten kombinieren die außergewöhnlichen Eigenschaften von Siliziumkarbid mit innovativem Design und bieten deutliche Vorteile gegenüber herkömmlichen Alternativen aus Keramik oder Graphit.

‌1. Außergewöhnliche thermische und mechanische Stabilität‌

SIC-Waferboote weisen eine hervorragende Wärmeschockbeständigkeit auf und behalten ihre strukturelle Integrität auch bei schnellen Temperaturschwankungen von bis zu 1.380 °C. Diese Stabilität ist auf den niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten von Siliziumkarbid (4,0 × 10⁻⁶/°C) in Kombination mit dem Reaktionsbindungsprozess zurückzuführen, der innere Spannungen minimiert. Im Gegensatz zu herkömmlichen Graphitbooten, die in oxidativen Umgebungen über 500 °C zerfallen, weisen SIC-Waferbootkomponenten eine hervorragende Oxidationsbeständigkeit auf und gewährleisten eine lange Lebensdauer in wiederholten Hochtemperaturzyklen.

‌2. Optimiertes Design für Prozesseffizienz‌

Die Dreipfosten-Konfiguration verbessert die thermische Gleichmäßigkeit bei kritischen Anwendungen wie Diffusionsprozessen und CVD (Chemical Vapor Deposition). Die symmetrischen Pfosten sorgen für eine gleichmäßige Wärmeverteilung und reduzieren Temperaturgradienten über die gesamte Länge des Bootes auf weniger als 5 °C. Dieses Design minimiert auch die Verformung der Wafer während der Halbleiterverarbeitung und verbessert die Ausbeute um bis zu 15 % im Vergleich zu Booten mit flachem Boden. Die offene Struktur ermöglicht eine bessere Gasströmungsdynamik und verbessert die Prozesskonsistenz in atmosphärisch kontrollierten Öfen.

‌3. Überlegene chemische Inertheit‌

Die nicht reaktive Beschaffenheit von Waferbooten aus Siliziumkarbid macht sie ideal für den Umgang mit korrosiven Materialien. Mit einer Porosität von weniger als 0,5 % durch den Reaktionsbindungsprozess weisen diese Boote eine bemerkenswerte Beständigkeit gegen saure/alkalische Flussmittel und geschmolzene Metalle auf. Bei der Herstellung von Solarzellen verhindert diese Eigenschaft metallische Verunreinigungen (z. B. Aluminium oder Silber) und hält die Reinheit der Wafer mit Verunreinigungswerten unter 1 ppb aufrecht.

Unser Unternehmen kann derzeit Rohre mit großem Durchmesser, dünnwandige Rohre, freitragende Propeller, reaktionsgebundene Siliziumkarbid-Waferboote usw. herstellen.

Vorteile von reaktionsgebundenen Siliziumkarbid-Waferbooten:

1. Unsere SIC-Waferboote sind beständig gegen hohe Temperaturen, Verschleiß und Kriechen.

2.Unser SICWaferboote haben eine hohe Schlagfestigkeit und lange Lebensdauer;

3. Unsere SIC-Waferboote haben eine hohe Dichte und können nach Kundenwunsch angepasst werden;

Qualitätssicherung und Qualitätskontrolle:

Um die Kundennachfrage nach den Produkten unseres Unternehmens zu erfüllen, wird jeder Produktionsprozess vom Moment des Eintreffens der Rohstoffe im Werk an streng kontrolliert. Alle Produkte werden vor Verlassen des Werks streng geprüft. Basierend auf unserem Managementsystem entsprechen unsere Inspektion und Kontrolle der Produktqualität den Branchen- und Unternehmensstandards.