Einführung von Siliziumkarbid-Waferbootträger:

Die Vorteile von Siliziumkarbid-Bootträgern in der Halbleiterfertigung‌

In den sich schnell entwickelnden Halbleiter- und Photovoltaikindustrien spielen Materialinnovationen eine entscheidende Rolle bei der Verbesserung der Prozesseffizienz und Produktleistung. Unter den kritischen Komponenten haben sich Siliziumkarbid-Bootträger, auch Waferboote oder Kassetten genannt, als überlegene Alternative zu herkömmlichen Quarz- oder Graphitträgern herausgestellt. Mit außergewöhnlichen thermischen, mechanischen und chemischen Eigenschaften bieten Siliziumkarbid-Bootträger unübertroffene Zuverlässigkeit und Langlebigkeit in Hochtemperatur-Halbleiterherstellungsprozessen. Im Folgenden untersuchen wir die wichtigsten Vorteile von Siliziumkarbid-Bootträgern und ihre transformativen Auswirkungen auf die moderne Fertigung.

Hauptmerkmal des Siliziumkarbid-Waferboothalters:

‌1. Überlegene thermische Stabilität und Leitfähigkeit‌

Die ultrahohe Wärmeleitfähigkeit (120-270 W/m·K) und der niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient von Siliziumkarbid sorgen für minimale thermische Belastungen selbst bei schnellen Temperaturschwankungen. Im Gegensatz zu Quarzträgern, die bei Temperaturen über 1.200 °C zu Verformungen oder Rissen neigen, behalten SiC-Bootträger ihre strukturelle Integrität bei Temperaturen über 1.600 °C. Dies macht sie ideal für kritische Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung (CVD), epitaktisches Wachstum und Diffusion, bei denen eine präzise Temperaturkontrolle unerlässlich ist. Die Wärmeschockbeständigkeit des Materials reduziert auch Ausfallzeiten durch Trägerfehler und steigert so den Produktionsdurchsatz.

‌2. Verbesserte mechanische Robustheit‌

Die inhärente Härte (9,2-9,5 Mohs) und Biegefestigkeit (350-600 MPa) von SiC übertrifft die von Quarz oder Graphit bei weitem. Diese mechanische Haltbarkeit führt zu einer geringeren Partikelbildung und Bruchgefahr bei der Handhabung der Wafer, wodurch das Kontaminationsrisiko minimiert wird. Halbleiterhersteller profitieren von einer längeren Lebensdauer der Träger – bis zu 10 Mal länger als bei Quarzalternativen – was zu geringeren Ersatzkosten und einer verbesserten Kapitalrendite (ROI) führt.

Zubehör für Waferboote aus Siliziumkarbid hat eine stabile Struktur, eine gute thermische Stabilität der Materialien und verformt sich bei Verwendung bei hohen Temperaturen nicht. Teile von Waferbooten aus Siliziumkarbid haben eine lange Lebensdauer. Träger für Waferboote aus Siliziumkarbid lösen effektiv das Problem hoher Photovoltaikzellen. Das Problem des Verlusts tragender Komponenten unter Last.

Anwendungsbereich des Siliziumkarbid-Waferboothalters:

Zubehör für Siliziumkarbid-Waferboote eignet sich für wichtige lasttragende Komponenten von Zelldiffusionsprozessanlagen in Photovoltaikqualität.

Über uns:

Shenyang Starlight Advanced Ceramics Co., Ltd. hat seinen Sitz in Shenyang, Provinz Liaoning, einem wichtigen Produktionsstandort für Industrie und moderne Ausrüstung in China. Das Unternehmen ist ein Weltklasse-Hersteller von neuen SiC-Rohstoffen und -Produkten mit erstklassigem Design, F&E-Innovation, stabiler Qualität und enormer Kapazität. Die Produkte werden in mehr als 20 Länder und Regionen im Ausland exportiert. Im Laufe der Jahre hat das Unternehmen an der Integrität seiner Geschäftsphilosophie festgehalten, um seinen Kunden den besten Service zu bieten.